扫描电子显微镜

JSM-IT500扫描电子显微镜

非凡性能

■ 利用 Zeromag 进行快速导航

■ Live Analysis在图像观察过程中进行实时分析

■ SMILE VIEW LAB 能综合管理 SEM 图像 & EDS 分析数据

■ 安全、简便 的样品交换导航

日常分析更迅速！更简便 !

从安装样品到生成报告，实时分析软件使分析过程无缝连贯，作业速度更快，操作更加简便。

■ Zeromag

从样品架示意图或者CCD图像上寻找视野和分析位置。

可以快速地寻找视野 , 简便地预约多个视野连续分析的位置。

■ Live Analysis （ 实时分析）

观察过程中的 EDS 分析

在观察过程中可以随时实时显示分析区域内的特征 X 射线谱图、自动定性分析结果和主要构成元素。

还可以标记“Alert"到感兴趣的元素上。

■ 数据集中管理软件 SMILE VIEWTM Lab

通过数据管理图标或获取的数据一览，显示数据管理画面后，可以重新查看或再次分析数据，还可以一键生成报告。

利用用户日志也可以分别管理数据。由于数据相互联动，进行重构也很简单。

实现了光学图像和 SEM 图像的整合

■ Zeromag

新功能寻找视野非常容易

顺利到达高倍率观察

新功能 Zeromag 将与样品台位置相关联的样品台示意图、CCD 图像和 SEM 图像实现了联动，可以从光学 CCD 图像无缝过渡到 SEM 图像，大幅度地提高了工作效率。

Zeromag 的特点

・ 从光学图像无缝过渡到 SEM 图像

・ 可以在样品上预先选择多个分析点

・ 可以轻松回溯到已测试过的区域以作进一步的研究

蒙太奇

利用 Zeromag 可以自动简便地进行大区域观察及分析

蒙太奇是识别大区域上的异物和进行断裂面分析等在大区域上获取详细信息的有效功能。

使用 Zeromag 功能 , 能很容易地选择大面积的蒙太奇视野，同时还有内置的“倾斜校正"、

“设定重叠视野"及“设定自动聚焦点"功能。

SM-IT500 是一款革命性的扫描电镜，它只需很少的步骤就能获取高倍率图像。

● 二次电子图像

利用高真空二次电子像观察铁锈的表面，在高倍率下可以观察到细微的表面形貌。

● 背散射电子图像

下图是硬质合金截面的背散射电子成分像，在低电压的背散射电子模式下可以观察每个碳化钨颗粒的晶体取向（通道衬度）差异。

● 选择扫描系统可获取画质更好的低加速电压图像

可以选择快速帧累积的扫描系统来减少样品的放电现像。因此 ,即使在低加速电压下观察容易荷电或易受电子束损伤的样品，也能容易地获取高倍率图像。

低真空模式

在物镜附近进行差动抽气显著提高了低真空模式下的图像质量。此外，低真空模式的最大压力可高达 650 Pa, 进一步扩大了应用范围。

超低真空图像

含有大量水分的软样品会因为样品室内的压力而无法保持原有的结构。从前对这样的样品不进行特殊处理就无法观察。当低真空压力范围扩展到 650 Pa 时，即使没有特殊处理也可以在对样品损伤很小的情况下进行观察。

低真空二次电子图像

尽管在低真空模式下，通过低真空二次电子像也可以清晰地观察到样品表面的细节。

测量功能

备有多种测量功能。

测量

利用该功能可以在观察界面上测量距离、角度、面积等，结果能记录和保存在 SEM 图像上。

3D 成像

备有两种 3D 成像的软件。

● 立体图像

按照指示拍摄两张 SEM 照片，就可以制作立体图像。即使没有专门的软件，只要用红蓝眼镜就可以确认到样品的表面形貌。

● 3D 图像测量

特定的 3D 测量软件。可用两张 SEM 照片制作 3D 图像。 还可以用 3D 图像测量样品表面形貌。

无缝式操作 SEM 和 EDS

■ Live Analysis ( 实时分析 )

观察过程中实时显示元素分析结果

利用 Live Analysis 功能可以随时在观察界面上显示分析区域内的特征 X 射线谱图以及自动定性的主要构成元素。通过此功能可以发现感兴趣的元素和一些意想不到的元素。

Live Analysis（实时分析）的特点

・ 随时显示特征 X 射线谱图

・通过显示样品的主要元素

・对感兴趣的元素显示“Alert"

SEM 观察界面

在 SEM 观察界面上可以确认到正在观察的谱图和主要元素。

各个分析区域都与对应的样品台坐标关联，并且显示在样品架示意图上或者 CCD 图像 上。

● EDS

X 射线能谱仪 (EDS) 是安装在扫描电镜 (SEM) 的附件，通过检测电子束照射时样品产生的特征 X 射线，从而进行元素分析。

详细分析显示界面

切换到详细分析显示界面后可以进行谱图解析以及元素面分布分析等。

即使在分析期间，也可以从已经获取的数据中生成报告。

● 重返分析区域

分析区域内的样品台位置和放大倍率与分析数据关联。

在 SEM 观察界面上可以重新回溯到任一分析区域做进一步测试。

● 导航

可以预先选取多个区域进行自动的连续分析。导航可以通过电子束追踪探测到由于视野移动而造成的微小的图像漂移，从而准确地重新定位分析区域。

定性 & 定量分析

在 SEM 观察界面上直接点击想要分析的位置就能定位分析区域。

使用 Zeromag 功能在多个视野区域定位多个分析区域，能简便地进行连续分析。

识别构成元素

● 定性分析

在观察过程中进行自动定性分析。双击小峰识别相对应的元素。

能谱采集的过程中也可以进行元素的标定。

● 定位区域类型

分析区域的定位方法除了有“点"、“区域"外，还有能根据图像强度差异来定位的“颗粒"等方法。

元素面分布图（Elemental map)

元素面分布图可以从整个观察界面或观察界面内定位的区域上获取。由于每个像素点上都保存了能谱信息，因此不需要在测定前定位元素就可以采集元素面分布图，在获取数据后也可以添加或者修改元素。此外，在数据采集期间还可以实时显示 net map。

显示选定区域的元素分布

● 强度面分布图 (Intensity map)

显示定位能区的 X 射线强度分布。从全区域面分布图可以获取整个区域的 X 射线强度分布，从区域面分布图可以获取定位区域的 SEM 图像和元素面分布图。

提高元素面分布图的准确性

● 实时净计数面分布图

净计数面分布图可以分开每个像素点的谱峰，并且显示的元素面分布图消除了相近峰之间的影响。相比之下，计数面分布图不可避免地反映了靠近定位元素的其他元素峰的强度。即使样品含有不同元素，净计数面分布图也可以实时显示固有强度的元素面分布图。

● 强度面分布图 (Intensity map) 与定量面分布图

　(Quantitative map) 的比较Cd-Lβ(3.313 keV) 的谱峰、Cd-Lβ2(3.528 keV) 的谱峰和 Sn-Lα 的谱峰都彼此非常接近，因此在强度面分布图中很难将 Cd 从 Sn 的峰中分开。通过定量面分布图可以确认 Sn 元素原有的分布。

● 定量面分布图（Quantitative map)

定量面分布图对净计数面分布图添加了修正计算，用定量值来显示面分布图。除了净计数面分布图之外，定量值用图像对比度来显示固有强度的元素面分布图。

利用元素面分布图进行实时分析

● 弹出谱（Pop-up spectrum）

在元素面分布图或 SEM 像中特指任意区域后，即使在采集元素面分布图的过程中也可以定性或定量分析能谱信息。如果某个区域没有在特指的元素面分布图中出现，则会显示出此区域的能谱，因而就可以确认是否有遗漏的元素。

明确元素的位置

● 叠加显示多色元素面分布图

对任意的元素面分布图特指颜色后，可以实时和 SEM 像叠加显示。如果多个元素重叠在同个区域，则会显示出复合色。

能快速确认元素的分布

● 实时过滤

在面分布采集过程中进行图像处理可以提高图像的信噪比。因此，只要使用实时过滤，即使在短时间内也可以确认到很清晰的元素分布。

直接生成报告

■ 数据统一管理软件 SMILE VIEW TM Lab

SMILE VIEW TM Lab 是一个*集成的数据管理软件，对与样品台坐标关联的 CCD 图像、SEM 图像、EDS 分析结果等数据能进行统一管理，可以快速生成报告。

SMILE VIEW TM Lab 数据管理界面

在 SMILE VIEW TM Lab 数据管理界面上能对所有数据进行集中管理。该管理器里保存的数据关联了观察位置、观察 & 分析结果和通过样品台示意图或 CCD 图像获取的低放大倍率图像。因而可以轻松回顾或重新分析已经采集的数据，还可以将结果反映到报告里。

SMILE VIEW TM Lab 的特点

・统一管理 CCD  图像数据、SEM 图像数据、EDS 分析结果。

・可以瞬间掌握每个视野的数据。

・支持各种数据搜索。

自动布局功能

SEM 图像与谱图或面分布等信息相互联动，所以只要选择一个数据相关所有数据都会在报告书里自动布局。如果数据太大，会自动排版添加页面。此外，需要更改布局时，一键即可切换所有相关信息。

交换样品的操作简便 & 大型分析样品室

■ 安全、简便的样品交换导航 !

引导从进样到观察的操作

样品交换根据导航流程进行。从打开样品室到开始观察样品为止，引导用户正确操作，保证可以进行得既安全又简便。

● 交换样品很安全　

按照导航流程对样品室泄真空时，样品台会自动回到样品交换位置，可以简单、快速地交换样品。安装样品之前可以使用测试治具确认高度。

● 内置菜谱功能，可以自动设置观察条件。

在输入样品高度后的抽真空过程中，按照导航流程可以获取 CCD 图像, 观察视野和使用菜谱功能设置观察条件。

■ 样品导航

可以方便地移动到目标位置

● 样品架示意图

通过样品架示意图可以一目了然地确认样品位置。同时，随着样品的倾斜或旋转随时显示当前的位置，可以直观地确认样品的位置。

● 样品台导航系统（SNS）

获取样品的彩色图片后，双击就可以定位观察位置。显示在 Zeromag 屏幕上再搜索样品区域，操作会更加顺利。

■ 样品交换

最大样品尺寸 : 直径 200 mm.

最大样品高度 : 90 mm

Draw-out 方式

虽然有些样品由于形状、大小等原因很难安装，但是只要利用快速抽真空系统才能实现的 Draw-out 方式，从大样品室门里可以轻松安装样品。只需轻轻一触即可开启和关

闭样品室门，这种方式可以支持各种形状的样品。

● 与抽真空结束的同时，会立即显示目标区域的“放大倍率图像"

抽真空结束并进行以下步骤，

・定位目标观察区域

・设置观察条件

・调整图像之后会显示“放大倍率图像"。

安全机制

● 输入样品高度

标配的样品台安全机构根据样品高度和用户输 入的高度而工作。即使是形状复杂的样品也能 够安全地进行观察与分析。

● 样品室观测装置（CS）

用安装在样品室侧面的相机能查看 样品和探测器及物镜的位置关系。 样品室观测装置支持观察形貌复杂 的样品。

■ 多用途样品室

可安装多种附件

多用途样品室共有 11 个接口，各探测器的位 置都经过了优化设计。EDS、EBSD、WDS 可以在同一工作距离下（10 mm）进行分析。两个 EDS 接口和 EBSD 接口是同轴配置的， 与样品台的倾斜轴垂直。因此 EDS 和 EBSD 可以同步分析，双 EDS 可以相向安装。

■ 高速、高精度的马达样品台 & 高速抽真空系统

可安装多种附件

JSM-IT500 标配了高速、高精度的 5 轴马达样品台，并且最大载重量为 2 公斤。

快速抽真空的大型样品室

样品室抽真空大约需要 2 分 50 秒。新设计的真空系统使抽真空速度大大提高，可以在短时间内对大容量样品室抽真空。同时，通过涡轮分子泵和前置阱实现了清洁的真空环境。

JSM-IT500扫描电子显微镜技术参数规格

4 种配置 : BU ( 基本单元 ) / A ( 元素分析 ) / LV ( 低真空 ) / LA ( 低真空 & 元素分析 ).

主要选配项　　　

EDS主要规格　 适用于两种配置 : A ( 元素分析 ) / LA ( 低真空 & 元素分析 ).