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详细介绍
JSM-IT200扫描电子显微镜
■ 主窗口 ーZ e r o m a g 观察ー
使用主窗口显示的样品架示意图和光学C C D 图像 *1 ，能寻找视野和定位 分析位置。
■ 显示谱图和显示元素 显示谱图和显示元素 ーLive Analysis 分析 *2 ー
通过显示谱图和显示元素，能确认正在观察中的视野的谱图及主要元素。
■ 数据管理图标 数据管理图标 ーSMILE VIEW
T M
L a b 数据集中管理ー按下数据管理图标并显示数据管理窗口后，从 S E M 图像到分析，对全部数据能创建批量报告、
查看数据并重新分析数据。
J S M - I T 2 0 0 在完成样品交换的同时，开始观察需要的视野。
按照导航流程操作，也可以安全、方便、可靠地交换样品。
■ 样品交换导航
样品交换导航是从打开样品室到开始观察过程中进行导航的功能。
■ Zeromag
只需扩大光学图像，就可以过渡到 S E M 图像
Z e r o m a g 功能将与样品台位置关联的样品架示意图、C C D 图像 * （光学图像）和S E M 图像实现了联动。可以直观地寻找分析区域，只需放大光学图像就可以过渡到S E M 图像，因而能防止弄错观察目标和样品。
Zeromag 的特长
・能象用光镜一样直观地移动视野
・可以预约多个分析区域的测试
・可以轻松回溯到已测试完的区域
Live Analysis
S E M 观察过程中始终显示元素分析结果
利用Live A n a ly s i s 功能，可以不必再分别考虑S E M 观察和E D S 分析。在观察窗口上可以随时显示分析区域内的特征X射线谱图和自动定性的主要构成元素名称，还可以发现感兴趣的元素和一些意想不到的元素。
Live Analysis 的特长
・始终显示特征X射线谱图
・通过显示样品的主要构成元素帮助发现意想不到的元素。
・对感兴趣元素的标注“Alert"
利用SEM观察窗口上配置的全域/区域面分布图图标能获取整个观察区域或需要区域的元素面分布图。
可利用数据管理软件 SMILE VIEWTM Lab 对采集的数据（如用谱图、元素面分布图、线分析对元素的再定位等）进行各种分析。
● 实时 净计数面分布图／定量面分布图
对每个像素点的谱峰进行分离，显示消除了临近峰影响的元素面分布图。对净计数面分布图进一步校正计算，还有用定量值显示的定量面分布图。
● 强度面分布图和净计数面分布图
Pb-Mα (2.342 keV)的谱峰 和Bi-Mα (2.419 keV) 的谱峰很接近，在强度面分布图中很难把Bi和Pb的峰*分开。通过显示净计数面分布图，可以确认Bi元素原有的分布。
JSM-IT200扫描电子显微镜技术规格
设备型号 | IT200 | |
|---|---|---|
基本性能 | 二次电子像分辨率 | 3 nm (30 kV, 高真空) 8 nm (3 kV, 高真空) 15 nm (1 kV, 高真空) |
背散射电子像分辨率 | 4.0 nm (30 kV, 高真空) | |
加速电压 | 0.5 to 30kV | |
放大倍数 | 5x to 300,000x | |
EDS 分析 | 电制冷方式Dry SDD extra detector (不用液氮) | |
EDS 分析位置: WD 10 mm, 取出角 35 度 | ||
电子光学系统 | 电子枪 | 工厂预对中灯丝 |
电子枪偏压 | 无缝式自偏压 | |
聚光镜 | 可变焦聚光镜 | |
物镜 | 超级圆锥形物镜 | |
物镜光阑 | 3段式可动(带XY轴微调) | |
像散存储器 | 内置 | |
图像移动 | ±50μm（WD 10 mm） | |
探测器 | 二次电子探测器 | |
高灵敏度半导体型背散射电子探测器 | ||
自动化功能 | 自动灯丝加热 | 内置 |
自动枪对中 | 内置 | |
自动聚焦 | 内置 | |
自动消像散 | 内置 | |
自动亮度和对比度调整 | 内置 | |
样品室 | 最大样品尺寸 | 150 mm （直径） |
可支持的选购附件 | EDS, WDS, EBSD, CLD, SHIC, SCU, Raman | |
样品台 | X | 0 ~ 80 mm |
Y | 0 ~ 40 mm | |
Z | 5 ~ 48 mm | |
R | 360 度 | |
T | -10 ~ 90 度 | |
最大视野范围 | 127 mm （直径） | |
最大样品高度 | 48 mm | |
马达驱动 | 2 (X, Y) | |
图像显示系统 | PC､OS | Windows®10 |
显示器 | 24" LCD | |
图像存储像素 | 320x240, 640x480, 1280x960, 2560x1920, 5120x3840 pixels | |
图像保存格式 | Format: BMP, TIFF, JPEG | |
操作系统 | 操作导航器 | 位于显示屏下端的操作导航器可控制以下功能:用户管理, 样品交换, 菜单, 成像, 打印, 参数设定, 维护 |
测量功能 | 平行线间距测量 | 垂直, 水平, 对角 |
2点之间距离测量 | 任意2点间距离 | |
圆的测量 | 直径, 2个圆中心间距离 | |
角度测量 | 角度 | |
面积测量 | 圆和多角形 | |
计数 | 颗粒统计 | |
真空系统 | 类型 | 全自动抽真空系统 |
油扩散泵 | 420 升/秒 | |
机械泵 | 100 升/秒: 1 (6510/A), 2 (6510LV/LA) | |
外观 | 基本单元尺寸 | 750 mm (横) x 1,000 mm (纵) x 1,445 mm (高) |
基本单元重量 | 325 公斤 | |
安装要求 | 室温 | 20 ± 5℃ |
湿度: | 低于60% | |
供电 | 单相 AC100 V, 50/60 Hz, 3 kVA | |
E DS 适用于A（Analysis）和LA（Low V a c u u m &Analysis）配置。
主要技术规格
Basic（标配） | Standard | ||
SEM 集成化 | SEM 控制软件内置 | ● | ● |
观察/分析数据的集中管理 | |||
在SEM 操作窗口上定位分析位置（从SEM的 GUI上直接分析) | |||
分析位置的图形显示 | |||
检测器 | SDD 类型 | 参照检测器列表 | |
谱图分析 | 定性分析（谱峰鉴别、自动定性） | ● | ● |
Visual Peak ID | |||
无标样定量分析（ZAF 法） | |||
标样定量分析（ZAF 法） *4 | ● | ||
PHI-RHO-Z(PRZ) 法定量校正法 | |||
线分析 | 线分析（水平、任意方向 | ● | ● |
元素面分布图 | 元素面分布图（多色显示、单色显示、多色合成 | ● | ● |
最大分辨率 4 , 0 9 6 × 3 , 0 7 2 | |||
实时弹出谱 | |||
谱峰分离图 （净计数面分布图、定量面分布图） | |||
实时净计数面分布图 | |||
实时过滤器 | |||
浓度分布曲线 | |||
电子束追踪 | |||
连续分析 | 谱图分析、线分析、元素面分布 | ● | ● |
测试完的数据的统一分析（定性、定量） | |||
蒙太奇功能 | 自动制作蒙太奇（SEM 图像、元素面分布图） | ● | ● |
多区域连续元素面分布图 | |||
颗粒度分析软件 | 颗粒度分析 （自动 / 手动）＆EDS 分析 | ○ | ○ |
颗粒度分析数据的分类功能 | |||
图形显示颗粒度分析数据的统计处理 | |||
大区域的连续颗粒度分析 ＆ EDS 分析 | |||
样品台导航系统上设定测试范围 | |||
数据管理功能和生成报告 | SMILE VIEW TM Lab | ● | ● |
帮助功能 | 帮助导航 | ● | ● |
离线功能 | 与设备主机独立的PC 上可以解析数据的离线软件 | ○ | ○ |
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